鲁一鲁一鲁一鲁一澡-久久久GOGO无码啪啪艺术-调教奶头边躁狠狠躁学生小说男男 -来一水AV@lysav

歡迎來到南京聯(lián)俊流體技術(shù)有限公司網(wǎng)站!
咨詢熱線

13327836892

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  特種氣體的設(shè)計(jì)施工

特種氣體的設(shè)計(jì)施工

更新時(shí)間:2023-07-05  |  點(diǎn)擊率:917

特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。

其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)

二:分類 

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。

三:供氣系統(tǒng)的選擇 

1.  簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng) 
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單,通常不需要連續(xù)性供氣,對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

2. 由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

2. 常規(guī)供氣系統(tǒng) 
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾?,自?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。VMB采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾?,真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架,繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空;VMB主管氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥,氮?dú)獯祾?,真空輔助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。


日日噜噜夜夜狠狠久久丁香五月| 丰满熟妇大肉唇张开| 一本久道综合色婷婷五月| 公公的淫之手| 波多野结衣网站| 无码熟妇ΑⅤ人妻又粗又大 | 特级BBBBBBBBB视频| 色哟哟网站入口在线观看视频| 扒开腿挺进湿润的花苞| 亚洲AV无码成人精品区日韩| 久久精品夜色国产亚洲AV| 欧美变态口味重另类在线视频| 久久精品国产一区二区电影| 欧美丰满熟妇BBBBBB| 国产福利视频在线观看| 国产欧美精品区一区二区三区| 无遮挡国产高潮视频免费观看| 国产综合精品| 内射毛片内射国产夫妻| 久久9精品区-无套内射无码| 午夜精品久久久久久| 无码AⅤ精品一区二区三区 | 久久99热狠狠色AV蜜臀| 天天夜碰日日摸日日澡性色AV| 我在开会他在下添好爽| 成人免费视频一区二区| 尤物视频网站| 性做久久久久久久久| 亚洲AV无码专区在线观看成人| 天天干,天天操,天天射| 国产精品久久久久久妇女| 无码一区二区三区| 亚洲AV无码偷拍在线观看| 精品人妻无码区二区三区| 久久久久亚洲AV成人无码电影 | 成人欧美一区二区三区黑人| 小罗莉极品一线天在线| japanese老熟妇乱子伦视频| 公交车强摁做开腿呻吟| 女人张开腿让男人桶爽| 18一20亚洲gay无套|